トリケップス文献調査用資料 CD-TR026超精密送り位置決め機構の設計・評価
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| 刊行月：1997年11月、価格：7,590円（税込） 体裁：CDR、209頁 監修： 堀 光平 株式会社東芝 執筆者： 堀 光平 株式会社東芝 総合研究所 機械研究所 機構開発室 研究主務 岡田正思 日本光学工業株式会社 精機設計部 第1設計課 津田展宏 工業技術院計量研究所 量子部 精密計測研究室 主任研究官 涌井秀夫 ユニオンツール株式会社 長岡工場 TG課 二宮瑞穂 日本精工株式会社 精機開発技術部 田中 誠 東芝機械株式会社 工作機械事業部 工作機械精密加工機部 次長 籔谷正思 株式会社不二越 技術部 高橋 保 昭和電線電纜株式会社 情報機器部 サーボ機器技術課 課長 大矢寛二 日本特殊陶業株式会社 研究部 部長 上羽貞行 東京工業大学 精密工学研究所 助教授 伊庭剛二 株式会社不二越 本社技術部 次長 恩田 一 エヌ・テー・エヌ東洋ベアリング株式会社 総合技術研究所 基礎技術研究部 主任研究員 中谷忠雄 株式会社三豊製作所 マイクロコード本部 設計課 課長 |
| 内容項目 |
第1章 超精密送り位置決め機構概説
1 はじめに
2 加工・計測精度の進展
3 超精密送り位置決め機構の運動精度
4 超精密送り位置決め機構の要素
4.1 案内機構
4.2 駆動機構
5 超精密送り位置決めの用途
第2章 超精密送り位置決め機構の用途～縮小投影露光装置のアライメントを例に～
1 はじめに
2 光電計測法
2.1 光電顕微鏡
2.2 その他の光電計測
3 応用例
3.1 レティクルアライメント
3.2 ウェハアライメント
4 アクチュエータ
5 アライメント方式の今後の問題
6 あとがき
第3章 超精密送り位置決め機構の測定・評価
1 三次元測定器の性能評価
2 直線案内の考察・設計
2.1 V溝案内機構
2.2 二つの円柱案内を用いた一方向ステージ
2.3 一本の円柱を用いた表面粗さ測定器案内
2.4 高性能をうるための工夫例
2.5 静圧空気軸受を案内とする方式
2.6 弾性変形を利用した案内機構
2.7 東北大研による精密案内テーブルに関する基礎研究
3 最近の精密位置決め装置の設計例
4 ピエゾ素子によるサブミクロン位置決め技術
4.1 圧電素子のメカニズムについて
4.2 圧電素子の応用技術
第4章 直動ベアリング
1 はじめに
2 直動軸受の特性
3 直動軸受の種類
3.1 転動方式による分類
3.2 転動体形状および軌道面形状による分類
4 直動軸受の選定基準
4.1 案内精度
4.2 剛性
4.3 経済性
5 応用精度例
5.1 並列使用の精度
5.2 小形マシニングセンタに使用した精度例
第5章 ボールねじ
1 まえがき
2 リード精度と位置決め
2.1 リード精度規格
2.2 ねじ軸のリード精度
2.3 リード精度と歩み精度
2.4 送り系の位置決め精度
3 取付精度の影響
3.1 初期精度への影響
3.2 精度劣化への影響
3.3 摩擦トルクへの影響
4 ボールねじ系の剛性
4.1 構成要素の剛性バランス
4.2 支持条件と剛性
5 摩擦トルクの安定化
5.1 ねじ溝精度との関係
6 温度上昇と熱変位
6.1 温度上昇計算式
6.2 熱変位対策
7 むすび
第6章 リニアモーション空気静圧案内
1 概要
2 空気静圧案内の構造と特徴
3 空気静圧案内の駆動方法
4 空気静圧案内の精度評価
5 空気静圧案内の応用例
6 むすび
第7章 静圧ねじ
1 まえがき
2 静圧機素の概要
3 静圧ねじの構造
4 静圧ねじの特徴
4.1 負荷容量と剛性
4.2 流量
4.3 摩擦トルク
4.4 許容回転数
4.5 代表的静圧ねじの特徴係数
5 使用例
5.1 静圧送りユニット
5.2 精密切削加工機（ポリゴンミラー加工機）
5.3 微小位置決め
6 あとがき
第8章 平行ばね
1 平行ばねの特徴
2 一体構造平行ばね
2.1 ヒンジメカニズム
2.2 ヒンジの弾性限界
2.3 平行ばねの場合
2.4 固有振動数の算出法
第9章 リニアモータ
1 リニアモータの種類と構造
1.1 リニア直流モータ（LMD)
1.2 リニアパルスモータ（LPM)
1.3 リニア誘導モータ（LIM)
1.4 リニア同期モータ（LSM)
1.5 リニア振動モータ（LOA)
2 リニアモータの設計
2.1 ボイスコイル型リニアモータ
2.2 リニア直流サーボモータ
3 リニアモータの設計例
3.1 ボイスコイル型リニアモータ
3.2 リニア直流サーボモータ
4 リニアモータとその応用
第10章 圧電アクチュエータ
1 概説
2 圧電・電歪材料
3 積層型圧電セラミックアクチュエータ
3.1 動作原理
3.2 構造および特性
4 積層型圧電アクチュエータの応用例
4.1 位置制御への応用
4.2 精密加工機のバイト送りへの応用
4.3 リニアステップモータへの応用
4.4 レーザ偏向素子としての応用
5 今後の展望
第11章 超音波モータ
1 概説
2 原理と特徴
2.1 振動片型
2.2 進行波型
3 試作例
3.1 リニアモータ
3.2 回転型モータ
第12章 X-Yテーブル
1 はじめに
2 X-Yテーブルの構成要素
2.1 スライド
2.2 アクチュエータ
2.3 伝達機構
2.4 センサ、サーボ機構
3 X-Yテーブルの構成例と評価
3.1 X-Yテーブルの構成例、その1
3.2 セラミック製X-Yテーブル
3.3 X-Yテーブルの構成例、その3
3.4 X-Yテーブルの構成例、その4
3.5 X-Yテーブルの構成例、その5
3.6 X-Yテーブルの構成例、その6
第13章 光ディスクカッティング装置
1 まえがき
2 光ディスク原盤のカッティングと装置の構成
3 光学系の構成
4 超精密スライド送り系の構成と制御
5 回転系の機構と制御
6 ディスクカッティング結果
7 あとがき
第14章 三次元測定器
1 概説
2 案内機構
2.1 ころがり案内方式
2.2 静圧空気軸受案内機構
2.3 滑り案内機構
3 駆動方式
3.1 ねじ送り方式
3.2 ラック-ピニオン駆動方式
3.3 摩擦駆動方式
4 あとがき
