トリケップス文献調査用資料 CD-EX021液晶パネル製造プロセス技術
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| 刊行月：1991年8月、価格：63,800円（税込） 体裁：CDR、270頁 監修： 太田勲夫 松下電器産業株式会社 執筆者： 太田勲夫 松下電器産業株式会社 映像音響研究センター ディスプレイ研究所 開発推進室 主幹技師 山添博司 松下電器産業株式会社 映像音響研究センター ディスプレイ研究 室長 生明京一郎 大日本インキ化学工業株式会社 顧問 松村 晃 日本ペイント株式会社 NB事業部 開発グループ 課長 平方純一 株式会社日立製作所 日立研究所 第9部 第91研究室 高田順司 日電アネルバ株式会社 技術本部 第3薄膜技術部 技術課 課長 三樹応晴 MRSアジア・インク 東京支店 支店長 森 英敏 株式会社ニコン 精機事業部 精機第3設計部 マネージャー 吉田幸造 大日本スクリーン製造株式会社 化工機工場 技術1課 課長 中村次雄 大日本スクリーン製造株式会社 化工機工場 技術1課 係長 橋村康広 日本写真印刷株式会社 機能システム製品事業本部 AT事業部 システム課 課長 高橋良明 株式会社フジオカ製作所 LCD製造設備プロジェクト 齋内和夫 積水化学工業株式会社 ケミカルスペシャリティ事業部 ファインケミカル企画部 部長 / 積水ファインケミカル株式会社 常務取締役 片桐清男 信越エンジニアリング株式会社 システム機器事業部 システム機器部 部長 佐藤 純 イノテック株式会社 半導体第1部 課長補 来田文夫 ナノメトリクス・ジャパン株式会社 技術部 次長 匂坂哲次 NTN株式会社 メカトロニクス研究所 研究課 主査 田端秀敏 株式会社オーク製作所 光学機器部 技術課 係長 |
| 内容項目 |
第1章 液晶パネル製造プロセス概論
1 はじめに
2 液晶パネル製造プロセスの概要
3 製造環境について
4 ガラス基板プロセス
4.1 ガラス基板
4.2 透明電極プロセス
4.3 アクティブマトリクス液晶ディスプレイ基板プロセス
4.4 カラーフィルタプロセス
5 パネル組立プロセス
5.1 オーバコートプロセス
5.2 配向プロセス
5.3 貼合わせプロセス
5.4 液晶注入プロセス
5.5 偏光板貼り付プロセス
5.6 モジュール化プロセス
6 液晶パネルの信頼性
第2章 カラーフィルタ作成技術
第1節 液晶パネル用高精度カラーフィルタの開発
1 はじめに
2 直接法
2.1 感光性樹脂（高分子）による方法
2.2 電子写真感材による方法
2.3 銀塩感材および化学発色法
3 転写法
3.1 1回使用マスタパターン転写法
3.2 繰り返し使用できるマスタを使う法
4 おわりに
第2節 電着転写法によるカラーフィルタの作成技術
1 はじめに
2 各種カラーフィルタの製造方法およびその課題
3 電着転写法によるカラーフィルタの製造方法
3.1 レジスト現像工程
3.2 電着塗布工程
3.3 転写工程
3.4 生成したカラーフィルタの特徴
4 電着転写プロセスの特徴
5 おわりに
第3章 液晶パネルにおける位相差フィルム作成技術
1 概説
2 位相差フィルムによるSTNの白黒化
2.1 白黒化原理
2.2 解析法
2.3 光学特性
2.4 積層法の最適化
3 位相差フィルムによるLCDの視角特性改善
3.1 視角補正原理
3.2 LCDの視角特性
3.3 厚さ方向屈折率の最適化
第4章 液晶パネルにおけるパターニング技術
第1節 液晶パネルにおける薄膜製造技術
1 概説
2 縦型両面インライン成膜装置
3 インラインP-CVD装置
3.1 P-CVD装置の構造と概要
3.2 P-CVD装置の実際
4 インラインスパッタ装置
4.1 スパッタ装置の概要
4.2 スパッタ装置の実際
4.3 ITO成膜の特性
5 今後の課題
第2節 液晶パネルにおける露光技術（1）
1 露光装置の決定
1.1 プロキシミティ露光機
1.2 ミラープロジェクションステッパ
1.3 プロジェクションレンズステッパ
2 スループットへの配慮
3 つなぎ合わせ
4 パネルスケーリングと重ね合わせ
5 機械の高インテリジェント機構
6 まとめ
第3節 液晶パネルにおける露光技術（2）
1 はじめに
2 ステッパの基本構成
2.1 超高圧水銀灯、楕円鏡、波長フィルタ
2.2 フライアイ
2.3 レチクルブラインド
2.4 レチクル、レチクルチェンジャ
2.5 レチクルアライメント機構
2.6 投影レンズ
2.7 プレートアライメント機構
2.8 AF機構
2.9 ステージ
3 主な特長と性能向上
3.1 画面合成の考え方
3.2 高スループット化
3.3 高精度化
4 今後の展開
4.1 画面の高精細化
4.2 画面の大型化
4.3 まとめ
第4節 液晶パネルにおける洗浄技術
1 概説
2 洗浄工程
2.1 洗浄装置に投入する基板の表面状態
2.2 洗浄度評価法
3 洗浄装置
3.1 ブラシスクラブ洗浄
3.2 超音波洗浄
3.3 乾燥処理
4 洗浄装置の高清浄化と省スペース化
4.1 性能向上
4.2 洗浄装置の高清浄化（クリーン化）
4.3 省スペース化
5 洗浄プロセッサ
6 おわりに
第5章 液晶パネルにおける組立技術
第1節 配向膜形成技術
1 まえがき
2 配向膜塗布に求められるもの
3 成膜工程
3.1 基板洗浄
3.2 配向膜印刷
3.3 乾燥、硬化
4 今後の課題
第2節 ラビング技術
1 ラビング技術の概要
2 配向制御
3 塵埃・汚染対策
4 静電気対策
4.1 装置側での対策
4.2 プロセス・製品側での対策
5 実機の構造について
5.1 視角調整と精度の確保
5.2 バフローラーとラビング精度
5.3 基板搬送機構と装置全体の塵埃対策
第3節 スペーサ分散技術
1 はじめに
2 スペーサとスペーサの役割
2.1 シール部スペーサ
2.2 セル内スペーサ
3 スペーサのセル内分散とセルギャップ
4 セル内スペーサの分散
4.1 スペーサの均一な分散配置
4.2 公開特許公報より見たスペーサ分散技術の推移
5 おわりに
第4節 セル組立技術（基板重ね合わせ装置）
1 はじめに
2 基本構成
2.1 上基板供給機、下基板供給機
2.2 プリアライメント部
2.3 表裏反転部（上基板用）
2.4 UV塗布部
2.5 重ね合わせ部（UV照射部）
2.6 収納部
3 主なる仕様
3.1 ワーク形状
3.2 合わせ精度、合わせマーク
3.3 加圧力
3.4 スループット
3.5 クリーン対策
第6章 液晶パネルにおける検査・修正技術
第1節 液晶パネルにおけるプローブ技術
1 はじめに
2 プロｰビングの現状
2.1 タングステン製プローブ針
2.2 新タイプのプローブ針
2.3 ラバーコネクタ
3 LCDのオープン／ショート検査
3.1 LCDの導通検査
3.2 その他のプローバ
4 LCDパネルの目視感応検査
4.1 概要
4.2 簡易型目視検査機
5 おわりに
第2節 液晶パネルにおけるセルギャップ測定技術
1 まえがき
2 膜厚測定装置の要説
2.1 測定原理
2.2 装置の仕様
3 セルギャップ測定方式
3.1 空気ギャップ測定
3.2 液晶注入セルのギャップ測定
3.3 カラー液晶パネルのギャップ測定
4 あとがき
第3節 液晶パネルにおけるリペア技術
1 まえがき
2 装置の概要
2.1 レーザおよび光学系
2.2 ステージ系
2.3 制御系
3 今後の展開
第7章 液晶パネルにおける評価技術
1 はじめに
2 セル厚測定
2.1 薄い空セル
2.2 ITO膜付き空セル
2.3 液晶セル
2.4 複屈折位相差を用いる方法
3 膜厚測定
3.1 ガラス基板上のITO膜
3.2 ガラス基板上のITO膜上の配向膜
4 複屈折位相差
4.1 位相差フィルム
4.2 ねじれのない液晶セル
4.3 STN液晶セル
4.4 屈折率楕円体
5 色度測定
5.1 L*a*b*色差式
5.2 L*u*v*色差式
5.3 カラーフィルタの色度測定
6 電気光学特性
6.1 しきい値特性
6.2 応答特性
7 プレティルト角測定
8 配向膜のラビングモニタ
